在集成电路、半导体和电真空泵器件制造中作为保护气和运输气，化学液相淀积时的载气，液体外扩散源的带上气，在高温扩散炉中作为器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清理和挥发等工序中，作为置换、干躁、贮存和运输用气体。显像管制造中规定N2纯度为99.99%之上。在航天技术中，液氢充注系统务必先用高纯氮置换，再换高纯氦置换。

高纯氮消防应急措施

迅速撤离泄漏污染人员至优势处，并开展防护，严苛限定进出。提议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不必直接接触泄漏物。尽量断开泄漏源。避免 气体在低陷处堆积，遇打火源起火发生爆炸。用排烟风机将漏排气送至空旷处。漏气器皿要妥善处理，恢复、检测后再用。用雾状水维持火场中器皿制冷。能用雾状水自喷加快液氮挥发，但不能应用水枪射至液氮。如吸进高纯氮，觉得呼吸困难，给供氧。如吸气终止，马上开展人工呼吸。就诊。